양낙규기자의 Defense Club 로고

{$_001|피에스케이_$}가 강세다. 램리서치와의 특허 관련 소송 최종심에서 일부 승소하며 고객사에 장비를 공급할 가능성이 제기된 영향으로 풀이된다.

17일 오후 1시29분 기준 피에스케이는 전일 대비 5.93% 상승한 3만3050원에 거래되고 있다.

업계에 따르면 최근 대법원에서 진행된 피에스케이와 램리서치간 특허 소송 최종심에서 피에스케이가 일부 승소했다. 피에스케이가 2건을 승소했고, 1건은 패소했다.

피에스케이는 지난 2021년 다년간의 R&D를 통해 엣지 클린(베벨 에처) 장비 개발에 성공했다. 램리서치는 경쟁사의 베벨 에처 시장 진출을 막기 위해 법적 대응을 시작했고 6건에 달하는 소송전으로 이어졌다.

베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 불안정하게 형성된 금속, 비금속막을 제거하는 데 쓰이는 장비다. 베벨 에처 시장 규모는 3000억~5000억원 규모로 알려졌다. 피에스케이가 베벨 에처 장비를 개발하기 전까지 베벨 에처 시장은 램리서치가 독점하고 있었다.